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简答题化学气相沉积法有哪些反应类型？该法对反应体系有什么要求？在热解反应中用金属烷基化物和金属烷基氧化物作为源物质时，得到的沉积层分别为什么物质？如何解释？
  • 1、反应类型：热分解反应；化学合成反应；化学输运反应。
    2、要求：
    1）反应物在气温下最好是气态，或在不太高的温度下就有相当的蒸气压，且容易获得高纯产品。
    2）能够形成所需要的材料沉积层，反应副产物均易挥发
    3）沉积装置简单操作方便。
    3、金属烷基化物，其M-C键能一般小于C-C键能，可广泛用于沉积高附着性的金属膜。若元素的烷氧基配合物，由于M-O键能大C-键能，所以可用来沉积氧化物。

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