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简答题比较扫描电子显微镜和光学显微镜，简述SEM的工作流程、电子检测及优点和限制。
  • 1、与光学显微镜的比较：

    2、工作流程
    1）电子枪产生电子束；
    2）电子束被聚束透镜聚集，通过物镜对焦到样品上一个非常小点；
    3）扫描线圈创造一个磁场使电子束返回和跨越样品的表面；
    4）从样品表面的电子束被检测器检测，然后被放大形成图像到阴极射线管的主屏幕上。
    3、电子检测：电子被二次检测器和背散射检测器检测，转换为电压，放大到阴极射线管。
    1）使用二次电子检测器产生清晰聚焦的样品表面图像（分辨率：5-10nm）；
    2）当确定样品的结构时，背散射电子检测器产生的图像很有用，从白色到黑色，样品中的每种化学元素展现不同的阴影。
    4、优点和限制：
    1）优点：准备方法简单、二次电子成像；
    2）限制：分辨率：1-10nm、仅仅只是表面形貌。

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