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简答题简述气敏元件的工作原理。
  • 半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸收式，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附出。当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附P型半导体上时，半导体的载流子减少，电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上时，氧化型气体吸附到P型半导体上时，半导体的载流子增多，电阻值下降。若气体浓度发生变化，其组织也将变化。

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