简述压力传感器的三种形式与原理

正确答案：① 压容式：线性度好，迟滞误差小，高温性能好，精度高；传感器的测量元件是一个石英膜盒，它由两片纯石英膜片熔凝而成，膜片的内表面装有金属电容极片，电容极片的间隙随周围压力的变化而变化。因为电容与两极片之间的距离成反比，所以电容的大小只取决于压力的变化。
② 压阻式：体积小，加工工艺简单，但温度误差大；利用晶体的压阻效应制成整体膜片，再在平膜片上形成应变电阻条，从而构成硅压阻芯片，然后将此芯片封装在传感器的外壳内，接出电极线而制成。传感器的两端即压力输入和压力基准都能做为进气端口，分别接大气压力和被测输入压力。
③ 压频式：测量精度高，但重复性差。传感器利用一个简单的平膜片，振荡膜片将传感器分成两个气室，一个是标准气室，一个是实际压力气室；该膜片的自然振荡频率是压力负载的函数。当标准气室的压力与实际气室的压力不相等时，膜片的振荡频率随实际压力的变化而变化。
答案解析：
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