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简答题什么叫物理气相沉积,有何优缺点?
  • 物理气相沉积是在高真空容器中,Ti受热蒸发,蒸发出来的原子与通入工作室中的气体相遇(按比例),并被离子激活,在工件负偏压吸引下,以较大能量射向工件表面,形成TiC或TiN沉积层,层厚一般为1~3mm,TiN的沉积层表面硬度为HV2400左右。它与化学气相沉积的不同点在于温度,化学气相沉积温度高,沉积结合力强,但基体硬度降低,而物理气相沉积的温度低,不影响基体硬度。刀具经“沉积”处理后寿命提高3~10倍,缺点是离子的绕射性差,工件各处沉积层不均匀,设备投资费用高,维修难,生产效率较低。
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