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简答题感光胶分为正性胶和负性胶,简述它们是如何定义。
  • (1)负性胶这种胶在曝光前对某些有机溶剂是可溶的,曝光后发生光聚合反应,不溶于有机溶剂。当用它进行光刻时,在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相反的图形,故称之为负性胶。
    (2)正性胶这种胶在曝光前对某些有机溶剂是不可溶的,而曝光后却变成可溶的,使用它进行光刻时,在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相同的图形,故称之为正性胶。
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