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简答题在线内动测量装置的传感器有哪几种?说明各种传感器的特点。
  • 自动测量装置的传感器种类及特点如下:
    1)机械式传感器。传感器对环境不敏感,测量精度可达O.2~10um。
    2)气动式传感器。通用性好,有多种结构,使用方便,测量精度可达到0.5um。
    3)电感式传感器。通用性好,可满足多种测量要求,测量精度为O.5~1um。
    4)激光传感器。方向性好,高单色性,高相干性,高亮度,测量精度高,分辨率为0.01um。
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