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简答题对减反射膜材料的总体要求；TiO2膜制备工艺，反应方程式。
  • 要求：能具有良好的减反射效果，还要求透明度好，热膨胀系数少，与硅片粘附性好，抗辐射，耐腐蚀。喷涂热（水）解法工艺：利用N2携带含钛酸异丙酯的水蒸气，喷涂到加热的硅片上表面，发生水解反应。反应：Ti（OC3H7）+2H2O==TiO2+4（C3H7）OH

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