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简答题离子束合成法有什么特点?其基本原理是什么?
  • 特点:1.离子束合成技术中的靶既是离子束轰击的目标,又是另一个被汽化的气态物质的宿居地。
    2.离子束法靶上的溅射是要克服的损失。
    3.离子束法的源物质可进入基底靶体的内层,并能改变靶材的微观结构和组成。
    4.离子束合成不受热力学条件和常规反应的限制。
    基本原理:离子束又称为离子注入,是通过高能离子束轰击固态基材——靶,而把靶室中已由其他方式汽化的气态源物质直接强行打入固态基体靶内的非平衡过程。
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