A、微开出口阀，当该吸附器的压力上升且为正压时，打开吹除阀。

B、先开吹除阀，再微开出口阀，并注意检查吹除气体的大小。

C、先开吹除阀，在微开预冷阀，并注意检查吹除气体的大小。

D、先开吹除阀，在微开进口阀，并注意检查吹除气体的大小。