试题详情
多项选择题晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

A、除去光刻胶中剩余的溶剂

B、增强光刻胶对晶片表面的附着力

C、提高光刻胶的抗刻蚀能力

D、有利于以后的去胶工序

E、减少光刻胶的缺陷

  • A,B,C,E

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