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简答题简述薄膜表面(晶粒)结构与温度的关系。
  • 在低温下,吸附原子的扩散速度低,成核少,少量晶核纵向生长,易长成锥状晶粒,结构不致密;温度升高,晶界变模糊,形成密排的致密纤维状晶粒结构,机械性能良好;温度再升高,形成完全致密的柱状晶;温度再升高,柱状晶粒长大并形成等轴晶,在不同厚度的薄膜上还形成新的晶体,不同厚度上有数层晶粒。
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