试题详情
- 多项选择题微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。
A、台阶仪
B、干涉显微镜
C、光切显微镜
D、扫描电镜
E、椭偏仪
- A,B,C,D
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