试题详情
简答题简述溅射镀膜的特征
  • （1）溅射出来的粒子角分布取决于入射粒子的方向.
    （2）从单晶靶溅射出来的粒子显示择优取向.
    （3）溅射率不仅取决于入射粒子的能量，也取决于入射粒子的质量.
    （4）溅射出来的粒子平均速率比热蒸发的粒子平均速率高得多.

  • 关注下方微信公众号，在线模考后查看

热门试题