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简答题简述MIS结构表面电荷的变化？
  • 当在金属与半导体之间加电压后，在金属和半导体相对的两个面上就被充电，带上等量异号的电荷。两者载流子密度不同，电荷分布情况亦不相同。在金属中自由电子密度很高，电荷基本上分布在一个原子层的厚度范围之内；在半导体中自由载流子密度要低得多，电荷必定分布在一定厚度的表面层内，这个带电的表面层称为空间电荷区。在空间电荷区内的电场逐渐减弱，到空间电荷区的另一端电场减小到零。空间电荷区内电荷的分布情况随金属与半导体间所加的栅极电压而变化，基本上可分为积累、耗尽、反型三种情况。

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