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简答题简述氧化物薄膜晶体管的特点。
  • 1）可见光的透过率较高，可以制备出完全透明的TFT器件，使得显示器的画面更加清晰明亮。
    2）电学特性优越，器件的响应速度、载流子迁移率都非常高。
    3）禁带宽度比较大，很好地避免了光照对器件性能的影响。
    4）薄膜均匀，为大屏幕化的实现提供可靠的保证。
    5）制备温度低，在接近室温的条件下也可以生长出高质量的氧化物TFT薄膜。
    6）材料和工艺成本较低，可以在廉价的玻璃或柔性塑料上生长，节约了制作成本。
    另外，氧化物材料既可以作为TFT的有源层，又可以作为栅极、源漏电极，还可以通过掺杂等手段控制载流子浓度，很好地控制电学特性。

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