试题详情
- 简答题简述层间清洗的作用。
- 背沟道阻挡结构中第一层的SiOx绝缘膜制作完成后加了一道清洗。两层绝缘膜之间加的这次清洗称为层间清洗，作用是为减少针孔。
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