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简答题目前为什么大多研究单位将平面型阴极型FED作为研究重点?
  • 三极管结构中按栅极位置的不同,可分为前栅型FED、后栅型FED和平面栅型FED。前栅型FED在制造过程中容易破坏场致发射源,另外器件的均匀性难以保证。后栅型FED是将栅极埋在阴极之下,解决了前栅结构的制作困难问题,但是该结构失去了栅极对阳极的屏蔽作用,因此不能提高阳极电压,否则会直接使阴极产生场致电子发射。前栅与后栅场致发射显示器都需要制作绝缘层,而大面积的绝缘层制作对设备及工艺要求很高,且绝缘性能很难保证,故器件成本高,不易实现大面积显示。
    而平面栅型FED是将阴极与栅极做在同一个平面上,阴极与栅极中间由微小间隙隔开平行分布。采用普通的光刻工艺一次性就可以在基片上完成阴极与栅极的制作,避免了前栅与后栅结构中绝缘层及上电极的制作,大大降低了工艺的复杂性及难度。由于制作工艺简单,制作成本远小于前栅和后栅结构,故平面栅型场致发射显示板更易大面积化和实用化。
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