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简答题简述提高IGZO TFT性能的方法。
  • 1）改善非晶金属氧化物IGZO沉积条件、控制退火温度和存放环境等；
    2）改善栅极绝缘层和非晶金属氧化物IGZO形成的界面。栅极绝缘层表面粗糙度越低，表面的缺陷态越少，成膜的质量越高，TFT的性能越好；
    3）提高非晶金属氧化物IGZO钝化层性质。

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