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简答题简述ELA技术制备LTPS TFT的缺点，针对ELA技术的问题有哪些解决方案？
  • ELA技术的缺点是：
    1）激光器昂贵、光学和机械系统复杂，制作成本高；
    2）由于激光尺寸的限制，非晶硅薄膜按区域顺序晶化，不可避免地在两个晶化区域之间有一个晶化程度不同的接缝，载流子迁移率不同，TFT特性不匀均；
    3）不均匀性随着驱动基板尺寸的增大而放大，制作大尺寸面板难度大，大型化困难。
    解决方案：1）通过增加冗余驱动电路的方法有望解决TFT特性不均匀的现象，应用到大尺寸的OLED面板中。
    2）采用相邻像素TFT驱动电路的方法，避开了使用激光束扫描范围重叠部分的TFT驱动技术。

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