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简答题简述电容式传感器的工作原理。
  • 两平行极板组成的电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为
    式中：ε-极板间介质的介电常数；
    S一极板的遮盖面积；
    δ一极板间的距离。
    当被测量的变化使式中的ε、S或δ任一参数发生变化时，电容量C也就随之变化。

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