试题详情
- 简答题源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo，试分析上下层Mo的作用。
- 1）下层Mo的作用：Al直接与a-Si接触很容易向a-Si扩散使漏电流增大，影响TFT的关态特性，所以在Al层下面要增加一层Mo。
2）上层Mo的作用：Al容易产生小丘，表面粗超度不好，且Al与上面层ITO直接接触，容易还原ITO材料，降低ITO的电阻率，引起接触不良，因此要在Al的上面增加一层Mo。 关注下方微信公众号，在线模考后查看
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