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简答题薄膜的组织（晶态）结构有几种形态？各有什么特点？
  • 晶态结构有无定形、多晶、织构、单晶等几种形态。
    无定形（非晶态）：降低基体温度可降低吸附原子的表面扩散速率，有利于形成非晶态；提高沉积速率使表面吸附原子来不及充分扩散排成晶体，也有利于形成非晶态；引入反应气体可生成氧化层，阻挡晶粒生长；加入掺杂元素使原子排列易发生混乱，有利于形成非晶。
    多晶：取向不同的多个小晶体形成的晶体；晶粒通常是取向随机；多晶材料可表现出伪各向同性；出现一些亚稳态相结构。
    织构：晶粒取向非随机，择优取向。单晶：晶体结构和取向一致。

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