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简答题简述半导体气敏传感器的分类?
  • 半导体气敏传感器分成电阻式和非电阻式两类,电阻式气敏传感器按其结构可分为烧结型,薄膜型和厚膜型三种;非电阻式气敏传感器分为二极管气敏传感器、MOS二极管气敏器件和Pd-MOSFET气敏器件等几类。
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