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单项选择题刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

A、选择性

B、均匀性

C、轮廓

D、刻蚀图案

  • B

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