试题详情
简答题影响化学气相沉积制备材料质量有哪几个主要因素？
  • （1）反应混合物。
    （2）沉积温度。
    （3）衬底材料。
    （4）系统内总压和气体总流速。
    （5）反应系统装置的因素。
    （6）源材料的纯度。

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