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简答题单晶材料制备中区域熔化法的原理。
  • 区域熔化技术是半导体提纯的主要技术。也可以作为一种单晶生长技术,因为在用它进行提纯时的确常常得到单晶。要制备单晶,可将单晶体籽晶放在料舟的左边。籽晶须部分熔化,以便提供一个清洁的生长表面。然后熔区向右移动,倘若材料很容易结晶也可以不要籽晶。热源可以是熔体、料舟或受感器耦合的射频加热。其他热源包括电阻元件的辐射加热、电子轰击以及强灯光或日光的聚焦辐射。
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