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简答题什么是ARL直读光谱透镜的定位校正原理？
  • 介绍一种透镜定位方法。当在平行于光轴的方向上振动物镜时，物镜或基片上形成有抗蚀剂材料膜的母盘被移动，从而改变物镜和母盘表面之间的距离。光电探测器探测到透射通过物镜并被母盘表面反射的返回激光光束。当该母盘靠近物镜焦点时，光电探测器探测到该返回激光光束。当探测到该返回激光光束时，物镜或母盘的移动停止。

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