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简答题每极可控硅阀配置一套独立的水冷却系统。该系统由两个冷却循环系统组成：一是（）；二是（）。
  • 内冷水循环系统，通过低含氧量的去离子水对阀进行冷却；外冷水循环系统，通过冷却塔对内冷水进行冷却

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