试题详情
多项选择题为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

A、低电阻率

B、易与p或n型硅形成欧姆接触

C、可与硅或二氧化硅反应

D、易于光刻

E、便于进行键合

  • A,B,D,E

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