试题详情
简答题举例说明各向同性和各向异性刻蚀的特点。
  • 各向同性刻蚀特点是：
    1）刻蚀后形成圆弧的轮廓；
    2）在光刻胶下面的图形出现侧蚀现象；
    3）线宽控制困难；
    4）对相邻薄膜的选择比很好。
    各向异性刻蚀特点是：
    1）可形成垂直的轮廓；
    2）可形成较细微的线宽。
    湿法刻蚀是利用化学药液与基板表面的薄膜发生化学反应的过程。化学反应没有方向性，因此湿法刻蚀是各向同性刻蚀，溶液在纵向刻蚀的同时，侧面的刻蚀也同时发生，容易出现侧蚀或浮胶现象，导致线宽失真。
    P.E和RIE刻蚀是把反应气体通入到反应室中，然后在射频电源作用下产生等离子体，等离子体在电场下与基板表面的薄膜发生化学反应及轰击作用的过程。有物理作用和化学作用，因此PE和RIE是各向异性刻蚀。

  • 关注下方微信公众号，在线模考后查看

热门试题