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多项选择题干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

A、生长的二氧化硅薄膜均匀性好

B、生长的二氧化硅干燥

C、生长的二氧化硅结构致密

D、生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

E、生长的二氧化硅掩蔽能力强

  • A,B,C,D,E

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