试题详情
- 简答题简述自对准结构的优点。
- 优点是：1）利用自对准技术减少了光刻次数，可以降低成本；
2）能够有效避免栅源和栅漏的交叠面积，提高对准精度，减小寄生电容。 关注下方微信公众号，在线模考后查看
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