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单项选择题干氧氧化法有一些优点,但同时它的缺点有()。

A、生长出的二氧化硅中引入很多可动离子

B、氧化的速度慢

C、生长的二氧化硅缺陷多

D、生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

  • B
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