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简答题例举离子注入设备的5个主要子系统。
  • （1）离子源：待注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。注入离子在离子源中产生
    （2）引出电极（吸极）和离子分析器：传统注入机吸极系统收集离子源中产生的所有正离子并使它们形成粒子束，离子通过离子源上的一个窄缝得到吸收。
    （3）加速管：为了获得更高的速度，出了分析器磁铁，正离子还要再加速管中的电场下进行加速
    （4）扫描系统扫描在剂量的统一性和重复性方面起着关键租用。
    （5）工艺室------离子束向硅片的注入发生在工艺腔中。

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