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简答题例举并解释5个进行在线参数测试的理由。
  • 五个进行在线参数测试的理由为：
    （1）鉴别工艺问题：硅片制造过程中工艺问题的早期鉴定（而不是等到已经完成了硅片制造才发现有问题进行测试。
    （2）通过/失效标准：依据通过/失效标准决定硅片是否继续后面的制造程序。
    （3）数据收集：为了改进工艺，收集硅片数据以评估工艺倾向（如沟道长度的改变）。
    （4）特殊测试：在需要的时候评估特殊性能参数（如特殊客户需求）。
    （5）硅片级可靠性：需要确定可靠性与工艺条件的联系时，进行随机的硅片级可靠性测试。

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