试题详情
简答题简述你所在工艺的工艺质量要求？你如何检查你的工艺质量？
  • 外延要求：1.集电极击穿电压要求
    2.集电极串联电阻要小.
    3.高频大功率小型化.
    刻蚀要求：1.图形转换的保真度高
    2.选择比高.
    3.刻蚀速率高.
    4.刻蚀剖面.
    5.刻蚀偏差.
    6.刻蚀因子大.
    7.均匀性.

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