试题详情
简答题光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
  • 增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。

  • 关注下方微信公众号，在线模考后查看

热门试题