试题详情
简答题给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？
  • 投影掩膜版是一种透明的平板，在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。
    投影掩膜版只包括硅片上一部分图形，而光掩膜版包含了整个硅片的芯片阵列并且通过单一曝光转印图形。

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