气中的一个小尘埃将影响整个芯片的（）性、（）率，并影响其电学性能_睦霖题库

简答题气中的一个小尘埃将影响整个芯片的（）性、（）率，并影响其电学性能和（）性，所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。

正确答案：完整；成品；可靠性
答案解析：
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