试题详情
- 简答题浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。
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根据瑞利判据：
要提高分辨率，可以通过增大数值孔径NA来实现。传统曝光设备在镜头与硅片之间的介质是空气，空气的折射率是1；浸液式光刻机采用一种高折射率的介质代替空气，那么NA就能够提高。
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