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简答题二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
  • ①器件保护（避免划伤和污染），因sio2致密；
    ②表面钝化（饱和悬挂键，降低界面态；需一定厚度，降低漏电流等）；
    ③用作绝缘介质和隔离（LOCOS，STI）如：隔离（如场氧，需要一定的厚度）；
    ④绝缘栅（膜厚均匀，无电荷和杂质，需干氧氧化）、多层布线绝缘层、电容介质等；
    ⑤选择性扩散掺杂的掩膜。

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