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简答题对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？
  • 硅片热不均匀的因素三个因素造成硅片的热不均匀问题（硅片边缘温度比中心低）：
    圆片边缘接收的热辐射比圆片中心少
    圆片边缘的热损失比圆片中心大
    气流对圆片边缘的冷却效果比圆片中心好
    边缘效应造成的温度梯度通常在几十甚至上百度，不仅导致热处理工艺的不均匀，且可能造成滑移等缺陷和硅片的翘曲。

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