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简答题例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少？
  • 第一步：用碳加热硅石来制备冶金级硅
    第二步：通过化学反应将冶金级硅提纯以生成三氯硅烷
    第三步：利用西门子方法，通过三氯硅烷和氢气反应来生产半导体级硅
    纯度能达到99.99999999%

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