试题详情
简答题例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。
  • 1.分滴，当硅片静止或者旋转得非常缓慢时，光刻胶被分滴在硅片上
    2.旋转铺开，快速加速硅片的旋转到一高的转速使光刻胶伸展到整个硅片表面
    3.旋转甩掉，甩去多余的光刻胶，在硅片上得到均匀的光刻胶胶膜覆盖层
    4.溶剂挥发，以固定转速继续旋转已涂胶的硅片，直至溶剂挥发，光刻胶胶膜几乎干燥

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