试题详情
简答题描述热氧化过程。
  • ①干氧：Si＋O2 SiO2
    氧化速度慢，氧化层干燥、致密，均匀性、重复性好，与光刻胶 的粘附性好
    ②水汽氧化：Si+H2O SiO2（固）+H2（气）
    氧化速度快，氧化层疏松，均匀性差，与光刻胶的粘附性差
    ③湿氧：氧气携带水汽，故既有Si与氧气反应，又有与水汽反应
    氧化速度、氧化质量介于以上两种方法之间

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