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简答题什么是离子分布的偏斜度和峭度，和标准高斯分布有什么区别？
  • 非对称性常用偏斜度γ（skewness）表示：γ为负值表明杂质分布在表面一侧的浓度增加，即x＜Rp区域浓度增加。畸变用峭度β（kurtosis）表示：峭度越大，高斯曲线的顶部越平，标准高斯曲线的峭度为3。LSS的理论是呈标准的高斯分布，不同的杂质会不同程度地偏离对称的高斯分布。如图中所示。

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