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简答题质量输运限制CVD和反应速度限制CVD工艺的区别？
  • 1、质量传输限制淀积速率
    淀积速率受反应物传输速度限制，即不能提供足够的反应物到衬底表面，速率对温度不敏感（如高压CVD）。
    2、反应速度限制淀积速率
    淀积速率受反应速度限制，这是由于反应温度或压力过低（传输速率快），提供驱动反应的能量不足，反应速率低于反应物传输速度。 可以通过加温、加压提高反应速度。

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