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简答题什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
  • 横向效应：注入的离子在垂直于入射方向平面内的分布情况。横向效应与注入离子的种类和离子能量有关。B的横向效应更大，因为质量小的离子速度更高，与靶材原子作用时间短。

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