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简答题什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？
  • 阻挡层金属是淀积金属或金属塞，作用是阻止层上下的材料互相混合。
    可接受的阻挡层金属的基本特征是：
    ①好的阻挡扩散特性；
    ②高电导率具有很低的欧姆接触电阻；
    ③与半导体和金属接触良好；
    ④抗电迁移
    ⑤膜薄和高温下稳定性好；
    ⑥抗腐蚀和氧化。通常用作阻挡层的金属是一类具有高熔点且被认为是难熔的金属。
    在硅片制造业中，用于多层金属化的普通难熔金属有钛、钨、钽、钼、钴和铂。难溶金属已经被用于硅片制造业，如双极工艺的肖特基势垒二极管的形成。钛钨和氮化钛也是两种普通的阻挡层金属材料，它们禁止硅衬底和铝之间的扩散。

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